光刻材料中陰離子的測(cè)定
光刻工藝是半導(dǎo)體制造中最為重要的工藝步驟之一。主要作用是將掩膜板上的圖形復(fù)制到硅片上,為下一步進(jìn)行刻蝕或者離子注入工序做好準(zhǔn)備。光刻的成本約為整個(gè)硅片制造工藝的 1/3,耗費(fèi)時(shí)間約占整個(gè)硅片工藝的 40~60%。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、檢測(cè)等工序。光刻膠是一種經(jīng)過(guò)嚴(yán)格設(shè)計(jì)的復(fù)雜、精密的配方產(chǎn)品,由樹(shù)脂、光引發(fā)劑、單體、添加劑等不同性質(zhì)的原料,通過(guò)不同的排列組合,經(jīng)過(guò)復(fù)雜、精密的加工工藝而制成。目前集成電路的集成水平已由原來(lái)的微米級(jí)水平進(jìn)入納米級(jí)水平,為了匹配集成電路的發(fā)展水平,制備超凈高純?cè)噭┑募兌纫灿?SEMI G1 逐漸提升到 SEMI G4 級(jí)水平,對(duì)雜質(zhì)的檢驗(yàn)?zāi)芰σ笠蚕鄳?yīng)提高。
(1)陰離子
分析柱:SH-G-1+SH-AC-11
流動(dòng)相:15 mM KOH(EG)
流速:1.0 mL/min
柱溫:35℃
抑制器:SHY-A-6
進(jìn)樣體積:100 μL
前處理:稱(chēng)取 2 g 樣品于 50 mL 樣品管中,加入 10 mL 去離子水,于 60℃水浴 1 h,取出冷卻至室溫,提取液過(guò) 0.22 μm 一次性針頭過(guò)濾器后進(jìn)樣分析。
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PC 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PP 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
ABS 中陰離子譜圖
(2)陽(yáng)離子
分析柱:SH-G-1+SH-CC-3L
流動(dòng)相:6 mM MSA(EG)
流速:1.0 mL/min
柱溫:35℃
抑制器:SHY-A-6
進(jìn)樣體積:100 μL
前處理:稱(chēng)取 2 g 樣品于 50 mL 樣品管中,加入 10 mL 去離子水,于 60℃水浴 1 h,取出冷卻至室溫,提取液過(guò) 0.22 μm 一次性針頭過(guò)濾器后進(jìn)樣分析。
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PC 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PP 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
ABS 中陰離子譜圖
Related Products
查看詳情
查看詳情
查看詳情
查看詳情
related news
水是生命之源,每個(gè)人都離不開(kāi)水資源。飲水安全問(wèn)題一直是各方面尤為重視的,那么為了確保飲水安全,就離不開(kāi)對(duì)飲用水的檢測(cè)。其中氟化物、氯化物、硫酸鹽和硝酸鹽是水質(zhì)檢測(cè)中的通例指標(biāo),恰好離子色譜法可以對(duì)以上幾個(gè)指標(biāo)進(jìn)行檢測(cè),所以離子色譜儀在水質(zhì)檢測(cè)方面發(fā)揮著重要作用。離子色譜法具有不變性好、重現(xiàn)性好、慎密度好,其在水質(zhì)監(jiān)測(cè)有著非常普及的應(yīng)用。
小年到、年味濃。新年倒計(jì)時(shí)已經(jīng)敲響,到處都洋溢著溫馨的年味。青源峰達(dá)集團(tuán)也在這特別的日子為盛瀚員工送上最溫暖的新年禮品,希望所有伙伴能過(guò)個(gè)好年! 今年公司新年福利發(fā)放方式與以往不同,為駐外伙伴發(fā)放青島啤酒、
液相色譜儀是利用混合物在液-固或不互溶的兩種液體之間分配比的差異,對(duì)混合物進(jìn)行先分離,而后分析鑒定的儀器。廣泛應(yīng)用到生物化學(xué)、食品分析、醫(yī)藥研究、環(huán)境分析、無(wú)機(jī)分析等各種領(lǐng)域。
在科學(xué)實(shí)驗(yàn)領(lǐng)域,離子色譜儀是一種重要的分析儀器,廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、食品檢測(cè)、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。近年來(lái),隨著中國(guó)科技的快速發(fā)展,離子色譜儀逐漸嶄露頭角,打破了進(jìn)口儀器在市場(chǎng)上的壟斷地位,為國(guó)內(nèi)科研和生產(chǎn)提供了更多選擇。
女神節(jié)快樂(lè)